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京浜樂夢金屬科技（蘇州）有限公司
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旋轉硅靶
- 所屬分類：旋轉硅靶
- 瀏覽次數：2021次
- 發布日期：2022/10/21 13:22:35
～硅旋轉靶材～
化學組成:Si（硅）
制作工藝:HPS
密度:2.2g/cm3（＞95%）
電阻系數（20°）:＜1?．㎝
純度:＞99.95
旋轉尺寸:4000㎜×9t㎜
雜質含量(Unit:ppm)
～Nb2OX旋轉靶材～
化學組成:Nb2Ox
制作工藝:HPS
密度:4.3g/cm3（＞95%）
電阻系數（20°）:＜0.1?．㎝
純度:＞99.95
旋轉尺寸:4000㎜×10t㎜
雜質含量(Unit:ppm)
～鋁旋轉靶材～
化學組成:AL（鋁）
制作工藝:One-batch forming
密度:2.7g/cm3（＞99.99%）
純度:＞99.99%
旋轉尺寸:4000㎜×10t㎜
雜質含量(Unit:ppm)
～鉻旋轉靶材～
化學組成:Cr（鉻）
制作工藝:HPS
密度:6.8g/cm3（＞95%）
純度:＞99.5
旋轉尺寸:4000㎜×10t㎜
雜質含量(Unit:ppm)
～AZO旋轉靶材～
化學組成:ZnO.Al2O3(98:2wt%)
制作工藝:HPS
密度:4.3g/cm3（＞95%）
純度:＞99.95%
電阻系數(20°）:＜0.0005?.cm
旋轉尺寸:4000㎜×9t㎜
雜質含量(Unit:ppm)
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